| 透明导电膜ZnO:Al(ZAO)的组织结构与特性 |
| 孙超; 陈猛; 裴志亮; 曹鸿涛; 黄荣芳; 闻立时
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| 2002
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发表期刊 | 材料研究学报
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ISSN | 1005-3093
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卷号 | 16.0期号:002页码:113-120 |
摘要 | ZnO:Al(ZAO)是一种简单并半导体氧化物薄膜材料,具有高的载流子浓度和光学禁带宽度,因而具有优异的电学和光学性能,极具应用价值,对于其能级高度简并的ZAO半导体薄膜材料,在较低的温度下,离化杂质散射占主导地位,在较高的温度下,晶格振动散射将成为主要的散射机制;晶界散射仅当晶粒尺寸较小(与电子的平均自由程相当)时才起作用,本文分析了ZAO薄膜的制备方法,晶体结构特性,电子和光学性能以及载流子的散射机制。 |
关键词 | 组织结构
透明导电氧化物
简并半导体
ZAO薄膜
散射机制
光学性质
氧化锌
氧化铝
电学性质
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收录类别 | CSCD
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语种 | 中文
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CSCD记录号 | CSCD:961173
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引用统计 |
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文献类型 | 期刊论文
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条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/143943
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专题 | 中国科学院金属研究所
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作者单位 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式 GB/T 7714 |
孙超,陈猛,裴志亮,等. 透明导电膜ZnO:Al(ZAO)的组织结构与特性[J]. 材料研究学报,2002,16.0(002):113-120.
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APA |
孙超,陈猛,裴志亮,曹鸿涛,黄荣芳,&闻立时.(2002).透明导电膜ZnO:Al(ZAO)的组织结构与特性.材料研究学报,16.0(002),113-120.
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MLA |
孙超,et al."透明导电膜ZnO:Al(ZAO)的组织结构与特性".材料研究学报 16.0.002(2002):113-120.
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