Ti—N多层膜的显微结构和压痕行为 | |
AWAGENDRISTEL; 黄荣芳; HBANGERT; 杨霞; 吴立航; 王海峰; HPANGRATZ; PSKALICKY | |
1992 | |
发表期刊 | 金属学报
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ISSN | 0412-1961 |
卷号 | 28.0期号:007页码:B316-B322 |
关键词 | Ti-N多层膜 显微结构 压痕 |
收录类别 | CSCD |
语种 | 中文 |
CSCD记录号 | CSCD:937087 |
引用统计 | |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/149855 |
专题 | 中国科学院金属研究所 |
作者单位 | 中国科学院金属研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | AWAGENDRISTEL,黄荣芳,HBANGERT,等. Ti—N多层膜的显微结构和压痕行为[J]. 金属学报,1992,28.0(007):B316-B322. |
APA | AWAGENDRISTEL.,黄荣芳.,HBANGERT.,杨霞.,吴立航.,...&PSKALICKY.(1992).Ti—N多层膜的显微结构和压痕行为.金属学报,28.0(007),B316-B322. |
MLA | AWAGENDRISTEL,et al."Ti—N多层膜的显微结构和压痕行为".金属学报 28.0.007(1992):B316-B322. |
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