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氮化硅表面生长金刚石薄膜及其摩擦磨损性能研究
Alternative TitlePreparation and Tribology Property of Diamond Film on Silicon Nitride
张珂1; 姜云浩1; 陆峰1; 刘鲁生2; 翟朝峰2; 黄楠2
2017
Source Publication沈阳建筑大学学报. 自然科学版
ISSN2095-1922
Volume33Issue:4Pages:688-695
Abstract目的研究金刚石耐磨涂层的摩擦磨损性能,以提高工件的使用寿命.方法利用微波等离子体化学气相沉积技术在氮化硅陶瓷基体表面制备金刚石薄膜.采用扫描电子显微镜、原子力显微镜和拉曼光谱仪对不同参数的金刚石薄膜进行结构表征,利用球-盘式摩擦磨损试验机在干摩擦条件下对薄膜的摩擦学性能进行研究.结果制备的金刚石薄膜表面粗糙度小,结合力良好;金刚石涂层有效降低了氮化硅表面的摩擦因数与磨损率,摩擦因数约为0. 12 ~ 0. 25.在微波功率8 kW、腔体气压6 kPa、甲烷体积分数8%的参数下制得的涂层具有最低的摩擦因数 (0. 12)和磨损率 (1. 18 × 10~(-7) mm~3 / (N·m) ).结论在氮化硅基体表面沉积金刚石薄膜可以提高氮化硅材料的摩擦磨损性能,提高工件寿命.
Keyword金刚石 氮化硅 微波等离子体化学气相沉积 微观结构 摩擦磨损
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:6057578
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.imr.ac.cn/handle/321006/157858
Collection中国科学院金属研究所
Affiliation1.沈阳建筑大学机械工程学院
2.中国科学院金属研究所
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GB/T 7714
张珂,姜云浩,陆峰,等. 氮化硅表面生长金刚石薄膜及其摩擦磨损性能研究[J]. 沈阳建筑大学学报. 自然科学版,2017,33(4):688-695.
APA 张珂,姜云浩,陆峰,刘鲁生,翟朝峰,&黄楠.(2017).氮化硅表面生长金刚石薄膜及其摩擦磨损性能研究.沈阳建筑大学学报. 自然科学版,33(4),688-695.
MLA 张珂,et al."氮化硅表面生长金刚石薄膜及其摩擦磨损性能研究".沈阳建筑大学学报. 自然科学版 33.4(2017):688-695.
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