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透射电子显微学的新进展I透射电子显微镜及相关部件的发展及应用
李斗星
2004
发表期刊电子显微学报
ISSN1000-6281
卷号23期号:3页码:269-277
摘要本文综述了透射电子显微镜(TEM)及相关部件,即场发射枪(FEG)透射电子显微镜、慢扫描电荷耦合器件(ssCCD)、球差校正器、单色器及高能量分辨率的新一代能量过滤成像系统的发展及应用。商业化的UltraScan 1000 SSCCD的读写速度已达4MHz,接近实时观察图像的目标;已生产出用于TEM和STEM的球差校正器,可把CM200 FEG TEM的球差系数从常规的1.23mm调整至+2ram一一O.05mm之间的任意值;单色器可把肖特基场发射枪发射电子的能量分散从O.6~0.8eV减少至0.04~O.1eV;新一代能量过滤成像系统HR-GIF可把能量分辨率从O.8eV提高至0.05eV。配有单色器、球差校正器、HR-GIF的新一代场发射枪透射电子显微镜可提供亚埃的空间分辨率和亚电子伏特的能量分辨率,为研究物质的原子一电子结构提供了可靠的保证。
关键词field emission gun transmission electron microscope 场发射枪透射电镜
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/179584
专题中国科学院金属研究所
作者单位中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
李斗星. 透射电子显微学的新进展I透射电子显微镜及相关部件的发展及应用[J]. 电子显微学报,2004,23(3):269-277.
APA 李斗星.(2004).透射电子显微学的新进展I透射电子显微镜及相关部件的发展及应用.电子显微学报,23(3),269-277.
MLA 李斗星."透射电子显微学的新进展I透射电子显微镜及相关部件的发展及应用".电子显微学报 23.3(2004):269-277.
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