| 交流电作用下Au薄膜热疲劳失效行为的研究 |
| 王鸣; 张滨; 刘常升; 张广平
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| 2011-05-11
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| 发表期刊 | 金属学报
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| 期号 | 5页码:601-604 |
| 摘要 | 本文研究了交流电致循环热应变作用下200 nm厚Au薄膜的失效行为.结合实验结果和理论计算,确定了交流电作用下6μm宽Au薄膜导线上的温度分布,并由此确定了Au互连线在交流电作用下达到稳定状态后的循环热应变范围.结果表明,应变范围△ε≤0.35%,经过5×10~6cyc热循环后,Au互连线中的晶粒出现不同程度的增长,晶界损伤导致Au互连线的最终失效.对Au薄膜热疲劳、机械疲劳失效行为及其机制进行了分析. |
| 部门归属 | 东北大学材料与冶金学院材料各向异性与织构教育部重点实验室;中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室;
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| 关键词 | Au薄膜
交流电
热疲劳
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/23444
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
王鸣,张滨,刘常升,等. 交流电作用下Au薄膜热疲劳失效行为的研究[J]. 金属学报,2011(5):601-604.
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| APA |
王鸣,张滨,刘常升,&张广平.(2011).交流电作用下Au薄膜热疲劳失效行为的研究.金属学报(5),601-604.
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| MLA |
王鸣,et al."交流电作用下Au薄膜热疲劳失效行为的研究".金属学报 .5(2011):601-604.
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