电弧离子镀AlCrN沉积层初期氧化形貌、组构及反应机制

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	电弧离子镀AlCrN沉积层初期氧化形貌、组构及反应机制
	李月巧; 李伟洲; 梁天权; 胡治流; 孙超
	2010-12-15
发表期刊	材料保护
期号	12 页码:25-27+30+85
摘要	为了弄清AlCrN涂层在高温环境中的抗氧化机制,采用电弧离子镀技术制备了AlCrN涂层,对真空退火和短时氧化处理后的沉积层采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)分析和元素成分(EDS)进行了观察和分析。结果表明:真空退火处理的沉积层中CrN相逐渐转变为Cr2N,并释放出N2;在900,1000℃下氧化1～5h,沉积层中部分Cr2N与O2反应生成Cr2O3,此时涂层的物相以Cr2N和Cr2O3为主,并含少量CrAlN相;氧化至10h,沉积层表面生成以Cr2O3和Al2O3为主的氧化膜,此氧化膜的生成有利于涂层抗氧化性能的提高。
部门归属	广西大学有色金属及材料加工新技术教育部重点实验室;中国科学院金属研究所表面工程部;
关键词	电弧离子镀 Alcrn沉积层初期氧化真空退火
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/23579
专题	中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	李月巧,李伟洲,梁天权,等. 电弧离子镀AlCrN沉积层初期氧化形貌、组构及反应机制[J]. 材料保护,2010(12):25-27+30+85.
APA	李月巧,李伟洲,梁天权,胡治流,&孙超.(2010).电弧离子镀AlCrN沉积层初期氧化形貌、组构及反应机制.材料保护(12),25-27+30+85.
MLA	李月巧,et al."电弧离子镀AlCrN沉积层初期氧化形貌、组构及反应机制".材料保护 .12(2010):25-27+30+85.