| 氮气分压对电弧离子镀CrN_x薄膜组织结构的影响 |
| 陈康敏; 张晓柠; 郑陈超; 黄燕; 关庆丰; 宫磊; 孙超
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| 2010-11-15
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| 发表期刊 | 真空科学与技术学报
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| 期号 | 6页码:662-666 |
| 摘要 | 利用电弧离子镀技术在钛合金表面制备CrNx薄膜,分析讨论氮气分压对薄膜表面形貌、相组成和微观结构的影响。结果表明,随着氮气分压的升高,CrNx薄膜表面熔滴的数量及尺寸减少,表面平整度得到明显改善;薄膜的物相组成在氮气分压为1.0 Pa时由Cr2N相变为CrN相;同时因氮气分压改变粒子、离子的轰击作用,影响薄膜表面的能量状态,CrNx薄膜晶体的择优生长由(200),(220)变为(111)。在氮气分压为1.5 Pa时可获得高沉积效率、高致密度、高硬度,并具有纳米晶体结构的单相CrN薄膜。 |
| 部门归属 | 江苏大学材料科学与工程学院;中国科学院金属研究所材料表面工程研究部;
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| 关键词 | 电弧离子镀
Crnx薄膜
氮气分压
组织结构
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/23619
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
陈康敏,张晓柠,郑陈超,等. 氮气分压对电弧离子镀CrN_x薄膜组织结构的影响[J]. 真空科学与技术学报,2010(6):662-666.
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| APA |
陈康敏.,张晓柠.,郑陈超.,黄燕.,关庆丰.,...&孙超.(2010).氮气分压对电弧离子镀CrN_x薄膜组织结构的影响.真空科学与技术学报(6),662-666.
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| MLA |
陈康敏,et al."氮气分压对电弧离子镀CrN_x薄膜组织结构的影响".真空科学与技术学报 .6(2010):662-666.
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