脉冲偏压对电弧离子镀CrN_x薄膜组织结构与性能的影响

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	脉冲偏压对电弧离子镀CrN_x薄膜组织结构与性能的影响
	张晓柠; 陈康敏; 郑陈超; 黄燕; 关庆丰; 宫磊; 孙超
	2010-10-01
发表期刊	航空材料学报
期号	5 页码:73-77
摘要	利用电弧离子镀技术在TC4基体上制备CrNx薄膜,研究了脉冲偏压对薄膜的组织结构和力学性能的影响。结果表明,在一定范围内提高脉冲偏压可以显著减少薄膜表面熔滴的数量及尺寸,改善表面平整度,获得高质量的薄膜;同时随着脉冲偏压的升高,CrNx薄膜由CrN单相变为Cr,Cr2N和CrN三相组成,硬度与结合强度的峰值可分别达到24294.2MPa和43N;薄膜的摩擦系数在偏压幅值为-300V时具有最小值0.43。
部门归属	江苏大学材料科学与工程学院;中国科学院金属研究所材料表面工程研究部;
关键词	电弧离子镀脉冲偏压 Crnx薄膜组织结构
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/23696
专题	中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	张晓柠,陈康敏,郑陈超,等. 脉冲偏压对电弧离子镀CrN_x薄膜组织结构与性能的影响[J]. 航空材料学报,2010(5):73-77.
APA	张晓柠.,陈康敏.,郑陈超.,黄燕.,关庆丰.,...&孙超.(2010).脉冲偏压对电弧离子镀CrN_x薄膜组织结构与性能的影响.航空材料学报(5),73-77.
MLA	张晓柠,et al."脉冲偏压对电弧离子镀CrN_x薄膜组织结构与性能的影响".航空材料学报 .5(2010):73-77.