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铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶-凝胶法制备及性能
贾波; 苏革; 刘天中; 曹立新; 柳伟; 孙武珠; 董征; 王景
2010-05-25
发表期刊材料导报
期号S1页码:340-342+351
摘要运用室温溶胶-凝胶技术和热处理工艺,在载玻片上制备了铝离子掺杂的ZnO薄膜。采用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的成分、结构和形貌进行了表征;采用紫外-可见光分光光度计对薄膜的透光性能进行了研究。结果表明,所制备的氧化锌薄膜为六方纤锌矿结构,沿c轴方向择优生长;铝离子的掺杂没有改变氧化锌的基本结构,所掺杂的铝离子为取代锌离子的替位掺杂;热处理后,氧化锌颗粒为六角形针(柱)状形貌;随着热处理温度的升高,薄膜的透光率增大;经600℃热处理后随着铝离子掺杂浓度的增加,薄膜的透光率先增大后减小,当铝离子掺杂浓度为2%时透光率最大;当铝离子掺杂浓度较大时,晶格畸变的影响使薄膜的透光率减小。当溶胶浓度为0.6mol/L、铝离子掺杂浓度为2%和热处理温度为600℃时,所制备薄膜的质量和性能最好。
部门归属中国海洋大学材料科学与工程研究院;中国科学院青岛生物能源与过程研究所;中国科学院金属研究所;
关键词溶胶-凝胶法 铝离子掺杂氧化锌 透光率
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/23798
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
贾波,苏革,刘天中,等. 铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶-凝胶法制备及性能[J]. 材料导报,2010(S1):340-342+351.
APA 贾波.,苏革.,刘天中.,曹立新.,柳伟.,...&王景.(2010).铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶-凝胶法制备及性能.材料导报(S1),340-342+351.
MLA 贾波,et al."铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶-凝胶法制备及性能".材料导报 .S1(2010):340-342+351.
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