| 评估TiN薄膜与基材结合的划痕试验及有限元模拟 |
| 杨洪刚; 李曙; 段德莉
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| 2009-11-15
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| 发表期刊 | 摩擦学学报
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| 期号 | 6页码:592-599 |
| 摘要 | 通过有限元模型模拟划痕试验得到的结果表明∶切应力的起伏变化、膜/基界面处切应力差值、接触区附近膜层表面张应力、高载下的几种应力集中等,对膜/基体系的失效都有重要的作用.通过模型计算临界载荷下的膜/基界面处切应力差值,可用来评价膜层与基材的结合强度;提出了划痕试验中膜/基体系失效的2种机制.不同性能基材的TiN膜/基体系划痕试验结果,可验证本文有限元模拟的有效性,并表明临界载荷是膜/基结合强度、体系承载能力、内聚结合性能等的综合反映;低载往复摩擦磨损试验的结果进一步证实,用划痕试验的临界载荷评估膜/基结合强度具有局限性. |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所;
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| 关键词 | 划痕试验
膜/基结合
有限元模拟
应力分布
临界载荷
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/23951
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
杨洪刚,李曙,段德莉. 评估TiN薄膜与基材结合的划痕试验及有限元模拟[J]. 摩擦学学报,2009(6):592-599.
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| APA |
杨洪刚,李曙,&段德莉.(2009).评估TiN薄膜与基材结合的划痕试验及有限元模拟.摩擦学学报(6),592-599.
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| MLA |
杨洪刚,et al."评估TiN薄膜与基材结合的划痕试验及有限元模拟".摩擦学学报 .6(2009):592-599.
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