| 电弧离子镀制备Cr-O-N涂层及生长机理探讨 |
| 李伟洲; 李月巧; 梁天权; 胡治流; 孙超
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| 2009-02-20
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| 发表期刊 | 广西大学学报(自然科学版)
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| 期号 | 1页码:101-105 |
| 摘要 | 为了弄清O2和N2的流量变化和基体负偏压对涂层微观结构的影响,利用电弧离子镀技术制备了Cr-O-N涂层,对涂层样品进行了X射线衍射分析,扫描电镜和原子力显微镜观察,电子探针成分分析,结果表明Cr-O-N涂层含CrN和Cr2O3相,衍射峰的择优取向、涂层的表面粗糙度、相含量和化学成分与制备过程中的气体流量、基体负偏压等因素密切相关:随着氧流量的增加,涂层的表面粗糙度上升,涂层中氧元素含量和Cr2O3相含量增多;基体负偏压的升高有利于涂层沿CrN(220),Cr2O3(300)面择优生长和涂层的致密性提高. |
| 部门归属 | 广西大学材料科学与工程学院;中国科学院金属研究所表面工程部;
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| 关键词 | 电弧离子镀
Cr-o-n涂层
气体流量
表面粗糙度
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/24195
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
李伟洲,李月巧,梁天权,等. 电弧离子镀制备Cr-O-N涂层及生长机理探讨[J]. 广西大学学报(自然科学版),2009(1):101-105.
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| APA |
李伟洲,李月巧,梁天权,胡治流,&孙超.(2009).电弧离子镀制备Cr-O-N涂层及生长机理探讨.广西大学学报(自然科学版)(1),101-105.
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| MLA |
李伟洲,et al."电弧离子镀制备Cr-O-N涂层及生长机理探讨".广西大学学报(自然科学版) .1(2009):101-105.
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