| 两种ITO靶材的比较研究 | |
| 张滨; 孙玉珍; 王文皓 | |
| 2009-01-15 | |
| 发表期刊 | 物理测试
 |
| 期号 | 1页码:17-21 |
| 摘要 | 针对一种进口和国产的ITO靶材,用AES(SEM、SAM)、XPS、UPS和XRD进行了比较研究,通过研究发现两种样品的差别,为提高国产靶材的质量,提供一些改进意见。 |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所分析测试部; |
| 关键词 | Ito靶材 Aes Xps Ups Sem Xrd |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/24225 |
| 专题 | 中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张滨,孙玉珍,王文皓. 两种ITO靶材的比较研究[J]. 物理测试,2009(1):17-21. |
| APA | 张滨,孙玉珍,&王文皓.(2009).两种ITO靶材的比较研究.物理测试(1),17-21. |
| MLA | 张滨,et al."两种ITO靶材的比较研究".物理测试 .1(2009):17-21. |
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