| Mn或Cu掺杂非晶AlN薄膜的光致发光特性 |
| 巴德纯; 佟洪波; 闻立时
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| 2007-11-15
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| 发表期刊 | 真空科学与技术学报
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| 期号 | 6页码:508-510 |
| 摘要 | 研究了Mn或Cu掺杂的非晶AlN薄膜在室温下的发光性质。Cu或Mn掺杂的非晶AlN薄膜是在玻璃衬底上采用中频反应磁控溅射制备的。X射线衍射(XRD)结果表明薄膜为非晶。由X射线能谱(EDX)检测分析结果得到薄膜中Cu和Al含量比例为1∶10,Mn和Al含量比例为1∶15。光致发光光谱表明Cu掺杂的AlN薄膜能发出强烈的蓝光(~430 nm)而Mn掺杂则表现为红光(~650 nm)。 |
| 部门归属 | 东北大学机械工程与自动化学院,东北大学机械工程与自动化学院,中国科学院金属研究所 沈阳110004,沈阳110004,辽宁石油化工大学机械工程学院抚顺113001,沈阳110016
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| 关键词 | 氮化铝
中频反应溅射
掺杂
光致发光
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/24571
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
巴德纯,佟洪波,闻立时. Mn或Cu掺杂非晶AlN薄膜的光致发光特性[J]. 真空科学与技术学报,2007(6):508-510.
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| APA |
巴德纯,佟洪波,&闻立时.(2007).Mn或Cu掺杂非晶AlN薄膜的光致发光特性.真空科学与技术学报(6),508-510.
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| MLA |
巴德纯,et al."Mn或Cu掺杂非晶AlN薄膜的光致发光特性".真空科学与技术学报 .6(2007):508-510.
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