溶剂、溶胶稳定剂和热处理对溶胶-凝胶法制备的ZnO薄膜微观结构的影响

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	溶剂、溶胶稳定剂和热处理对溶胶-凝胶法制备的ZnO薄膜微观结构的影响
	黄辉; 朱明伟; 宫骏; 孙超; 姜辛
	2007-10-11
发表期刊	金属学报
期号	10 页码:1043-1047
摘要	采用溶胶-凝胶法,通过调整溶剂、溶胶稳定剂和热处理工艺在玻璃片上制备出不同工艺参数的ZnO薄膜.利用XRD和SEM考察了ZnO薄膜的择优取向和表面形貌.实验结果表明:采用高沸点溶剂时ZnO薄膜择优取向更强;单乙醇胺为稳定剂时ZnO薄膜择优取向很强,而二乙醇胺或三乙醇胺为稳定剂时择优取向微弱;预处理温度高于ZnO凝胶膜晶化开始温度时择优取向将减弱;最终处理温度在500℃以下时,随温度提高,晶粒尺寸增大,择优取向增强.
部门归属	中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,锡根大学材料与表面技术研究所沈阳110016,沈阳110016,沈阳110016,沈阳110016,德国
关键词	溶剂溶胶稳定剂热处理择优取向
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/24610
专题	中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	黄辉,朱明伟,宫骏,等. 溶剂、溶胶稳定剂和热处理对溶胶-凝胶法制备的ZnO薄膜微观结构的影响[J]. 金属学报,2007(10):1043-1047.
APA	黄辉,朱明伟,宫骏,孙超,&姜辛.(2007).溶剂、溶胶稳定剂和热处理对溶胶-凝胶法制备的ZnO薄膜微观结构的影响.金属学报(10),1043-1047.
MLA	黄辉,et al."溶剂、溶胶稳定剂和热处理对溶胶-凝胶法制备的ZnO薄膜微观结构的影响".金属学报 .10(2007):1043-1047.