| 浸渍-提拉法制备WO_3薄膜的气敏性能研究 |
| 杨俊梅; 桑海军; 毕淑娟
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| 2007-04-15
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| 发表期刊 | 沈阳航空工业学院学报
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| 期号 | 2页码:68-70 |
| 摘要 | 采用溶胶-凝胶方法制备WO3前驱液,利用浸渍-提拉法使其成膜。通过XRD分析了不同热处理温度对WO3晶体结构的影响,通过SEM图观察了不同提拉次数的WO3薄膜形貌。所得WO3薄膜的微观结构和气敏性能随提拉次数不同而有很大差异,提拉1次、2次的样品薄膜不连续,电阻过大,灵敏度无法测量;提拉3次成膜的样品电阻稳定,气敏性能最好,对NO2有很高的灵敏度。 |
| 部门归属 | 沈阳航空工业学院,辽宁省交通高等专科学校,中国科学院金属研究所 辽宁沈阳110034,辽宁沈阳110122,辽宁沈阳110016
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| 关键词 | Wo3薄膜
浸渍-提拉法
气敏性能
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/24753
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
杨俊梅,桑海军,毕淑娟. 浸渍-提拉法制备WO_3薄膜的气敏性能研究[J]. 沈阳航空工业学院学报,2007(2):68-70.
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| APA |
杨俊梅,桑海军,&毕淑娟.(2007).浸渍-提拉法制备WO_3薄膜的气敏性能研究.沈阳航空工业学院学报(2),68-70.
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| MLA |
杨俊梅,et al."浸渍-提拉法制备WO_3薄膜的气敏性能研究".沈阳航空工业学院学报 .2(2007):68-70.
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