磁控溅射TiO_2膜的真空度对薄膜亲水性影响的实验研究

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	磁控溅射TiO_2膜的真空度对薄膜亲水性影响的实验研究
	巴德纯; 常学森; 闻立时; 刘坤
	2007-03-30
发表期刊	真空科学与技术学报
期号	2 页码:155-158
摘要	采用反应溅射技术可以制备出具有亲水作用的TiO2薄膜。这种TiO2薄膜断面呈现柱状晶体结构。薄膜表面出现不规则起伏。薄膜的晶相主体均为锐钛矿型。TiO2薄膜的光透射谱变化不大。这种TiO2薄膜经紫外光辐照后,可以降低水和TiO2薄膜表面之间的接触角。不同工艺条件下制备的TiO2薄膜接触角相差很大。在纯氧条件下,薄膜制备的真空度对薄膜的亲水性有着决定性的影响。
部门归属	东北大学真空与流体工程研究中心,东北大学真空与流体工程研究中心,中国科学院金属研究所,东北大学真空与流体工程研究中心沈阳110004,沈阳110004,沈阳110015,沈阳110004
关键词	Tio2薄膜亲水特性反应溅射真空度
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/24769
专题	中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	巴德纯,常学森,闻立时,等. 磁控溅射TiO_2膜的真空度对薄膜亲水性影响的实验研究[J]. 真空科学与技术学报,2007(2):155-158.
APA	巴德纯,常学森,闻立时,&刘坤.(2007).磁控溅射TiO_2膜的真空度对薄膜亲水性影响的实验研究.真空科学与技术学报(2),155-158.
MLA	巴德纯,et al."磁控溅射TiO_2膜的真空度对薄膜亲水性影响的实验研究".真空科学与技术学报 .2(2007):155-158.