| 纳米Al膜的微波介电特性研究 |
| 刘健钢; 王铁钢; 杜昊; 宫骏; 孙超; 闻立时
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| 2006-02-28
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| 发表期刊 | 金属功能材料
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| 期号 | 1页码:24-26 |
| 摘要 | 研究了不同厚度的纳米Al膜在2~18GHz频率的介电特性。结果表明:纳米Al膜的介电常数具有尺寸效应,并在33nm时出现极值。薄膜的介电常数随电磁波频率的变化而变化。纳米Al膜直流电导率的实验结果,证明了薄膜结构变化是导致介电常数随厚度变化的直接原因。 |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所 沈阳110016,沈阳110016,沈阳110016,沈阳110016,沈阳110016,沈阳110016
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| 关键词 | 纳米al膜
介电常数
尺寸效应
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/25120
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
刘健钢,王铁钢,杜昊,等. 纳米Al膜的微波介电特性研究[J]. 金属功能材料,2006(1):24-26.
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| APA |
刘健钢,王铁钢,杜昊,宫骏,孙超,&闻立时.(2006).纳米Al膜的微波介电特性研究.金属功能材料(1),24-26.
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| MLA |
刘健钢,et al."纳米Al膜的微波介电特性研究".金属功能材料 .1(2006):24-26.
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