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Cu-Ni多层膜纳米压痕下微观变形结构的研究
谭军,谢天生,张广平
2005-08-25
发表期刊电子显微学报
期号4页码:278
部门归属沈阳材料科学国家(联合)实验室,中国科学院金属研究所,沈阳材料科学国家(联合)实验室,中国科学院金属研究所,沈阳材料科学国家(联合)实验室,中国科学院金属研究所 辽宁沈阳110016,辽宁沈阳110016,辽宁沈阳110016
关键词多层膜:6249 纳米压痕:6182 微观变形:3638 微观结构:1553 Cu-ni:1540 表征:1371 压头:996 形貌:802 Cu膜:792 中国科学院:744
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/25295
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
谭军,谢天生,张广平. Cu-Ni多层膜纳米压痕下微观变形结构的研究[J]. 电子显微学报,2005(4):278.
APA 谭军,谢天生,张广平.(2005).Cu-Ni多层膜纳米压痕下微观变形结构的研究.电子显微学报(4),278.
MLA 谭军,谢天生,张广平."Cu-Ni多层膜纳米压痕下微观变形结构的研究".电子显微学报 .4(2005):278.
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