| 透明导电薄膜在不同衬底上的性能对比研究 |
| 陆峰,徐成海,闻立时,曹洪涛,裴志亮,孙超
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| 2005-07-30
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| 发表期刊 | 材料保护
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| 期号 | 7页码:5-7+69 |
| 摘要 | 为了对比研究不同透明衬底上ZnO:Al(ZAO)薄膜的性能,采用直流反应溅射法制备薄膜,并对其作EDS、XRD和电学测试分析。结果表明:所制备的ZAO薄膜具有典型的ZnO晶体结构;沉积在玻璃基片上的ZAO薄膜,Al,O含量高于沉积在透明聚酯塑料基片上的,而Zn的含量则相反;在两种衬底上获得的ZAO薄膜电阻率分别为4.5×10-4Ω?cm和9.73×10-4Ω?cm,可见光透射率分别达到87.7%和81.5%。由此可见:用直流反应磁控溅射法在不同衬底上都能获得可见光透射率达到80%以上的ZAO薄膜;相比而言,在玻璃衬底上获得的ZAO薄膜电阻率低,而在透明聚酯塑料上沉积的ZAO薄膜透射性好。 |
| 部门归属 | 沈阳建筑大学交通与机械工程学院,东北大学机械工程与自动化学院,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所 辽宁沈阳110168东北大学机械工程与自动化学院,辽宁沈阳110004,辽宁沈阳110004,辽宁沈阳110015,辽宁沈阳110015,辽宁沈阳110015,辽宁沈阳110015
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| 关键词 | Zao薄膜
衬底
直流磁控溅射
性能
Xrd衍射分析
电阻率
透射率
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/25325
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
陆峰,徐成海,闻立时,曹洪涛,裴志亮,孙超. 透明导电薄膜在不同衬底上的性能对比研究[J]. 材料保护,2005(7):5-7+69.
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| APA |
陆峰,徐成海,闻立时,曹洪涛,裴志亮,孙超.(2005).透明导电薄膜在不同衬底上的性能对比研究.材料保护(7),5-7+69.
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| MLA |
陆峰,徐成海,闻立时,曹洪涛,裴志亮,孙超."透明导电薄膜在不同衬底上的性能对比研究".材料保护 .7(2005):5-7+69.
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