| 热丝化学气相沉积金刚石薄膜空间场的数值分析 |
| 李建国,刘实,李依依,胡东平,季锡林,梅军,周德惠
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| 2005-04-11
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| 发表期刊 | 金属学报
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| 期号 | 4页码:437-443 |
| 摘要 | 根据热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜的几何特点和工艺参数,建立了该系统的二维温度场、速度场和密度场 的耦合模型.利用该模型对沉积大面积金刚石薄膜的空间场进行了模拟计算,研究了沉积参数对空间场的影响.结果表明,衬底处 的温度分布和质量流密度的计算值与实测值相吻合.只有气体进口速度对质量流密度的均匀性影响最大,其它沉积参数对衬底温度 的均匀性、质量流密度的均匀性影响不大.从热丝阵列的最低温度出发,优选出沉积100 mm×100 mm、高质量金刚石薄膜比 较适宜的热丝几何参数. |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国工程物理研究院结构力学研究所,中国工程物理研究院结构力学研究所,中国工程物理研究院结构力学研究所,中国工程物理研究院结构力学研究所 沈阳 110016 中国工程物理研究院结构力学研究所,绵阳 621900,沈阳 110016,沈阳 110016,绵阳 621900,绵阳 621900,绵阳 621900,绵阳 621900
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| 关键词 | 热丝化学气相沉积
耦合模型
空间场
模拟计算
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/25421
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
李建国,刘实,李依依,胡东平,季锡林,梅军,周德惠. 热丝化学气相沉积金刚石薄膜空间场的数值分析[J]. 金属学报,2005(4):437-443.
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| APA |
李建国,刘实,李依依,胡东平,季锡林,梅军,周德惠.(2005).热丝化学气相沉积金刚石薄膜空间场的数值分析.金属学报(4),437-443.
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| MLA |
李建国,刘实,李依依,胡东平,季锡林,梅军,周德惠."热丝化学气相沉积金刚石薄膜空间场的数值分析".金属学报 .4(2005):437-443.
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