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二元不互溶Cu-Ta体系非晶相的形成
黄昌清,隋曼龄
2004-06-25
发表期刊材料研究学报
期号3页码:290-294
摘要利用X射线衍射(XRD)、高分辨透射电子显微术(HRTEM)和X射线能谱(EDS)研究了共溅射Cu-Ta薄膜中非晶相的形成.结果表明,共溅射Cu-Ta薄膜为非晶相,但是其中存在着纳米尺度的Cu晶粒和富Cu的非晶纳米颗粒,即存在纳米尺度的相分离.正的混合热是导致Cu-Ta二元不互溶体系非晶态薄膜相分离的本质原因.
部门归属中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室,中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室 研究员 沈阳市110016
关键词金属材料 Cu-ta非晶相 共溅射薄膜 高分辨透射电子显微术 不互溶体系
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/25701
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
黄昌清,隋曼龄. 二元不互溶Cu-Ta体系非晶相的形成[J]. 材料研究学报,2004(3):290-294.
APA 黄昌清,隋曼龄.(2004).二元不互溶Cu-Ta体系非晶相的形成.材料研究学报(3),290-294.
MLA 黄昌清,隋曼龄."二元不互溶Cu-Ta体系非晶相的形成".材料研究学报 .3(2004):290-294.
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