基于RFPECVD方法不锈钢上沉积类金刚石薄膜的机械与摩擦特性

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	基于RFPECVD方法不锈钢上沉积类金刚石薄膜的机械与摩擦特性
	蔺增,巴德纯,王志,闻立时
	2004-01-30
发表期刊	真空科学与技术学报
期号	1 页码:82-85
摘要	讨论用射频等离子体增强化学气相沉积 (RFPECVD)工艺 ,在室温下实现在 1Cr18Ni9Ti不锈钢基底上镀类金刚石(DLC)膜。为提高DLC膜的结合力 ,首先在不锈钢基底上沉积Ti/TiN/TiC功能梯度膜。借助所设计的界面过渡层 ,成功地在不锈钢基底上沉积了一定厚度的DLC膜。通过优化沉积参数 ,所沉积的DLC膜在与 10 0Cr6钢球对磨时摩擦系数低于 0 0 2 0。在摩擦过程中DLC膜的磨损机制借助SEM、Raman分析进行了研究。
部门归属	东北大学真空与流体工程研究中心,东北大学真空与流体工程研究中心,东北大学真空与流体工程研究中心,中国科学院金属研究所沈阳110004,沈阳110004,沈阳110004,沈阳110016
关键词	类金刚石薄膜不锈钢射频等离子体增强化学气相沉积摩擦磨损
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/25858
专题	中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	蔺增,巴德纯,王志,闻立时. 基于RFPECVD方法不锈钢上沉积类金刚石薄膜的机械与摩擦特性[J]. 真空科学与技术学报,2004(1):82-85.
APA	蔺增,巴德纯,王志,闻立时.(2004).基于RFPECVD方法不锈钢上沉积类金刚石薄膜的机械与摩擦特性.真空科学与技术学报(1),82-85.
MLA	蔺增,巴德纯,王志,闻立时."基于RFPECVD方法不锈钢上沉积类金刚石薄膜的机械与摩擦特性".真空科学与技术学报 .1(2004):82-85.