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薄膜几种重要力学性能的评价
李家宝,覃明,马素媛,陈昌荣,Vincent JI
2003-09-25
Source Publication理化检验(物理分册)
Issue9Pages:441-446
Abstract提出了一种利用X射线应力分析技术和应变电测法测量附着膜的等效应力———等效单轴应变、屈服强度和加工硬化指数的方法。利用该方法测得一种厚度为2.5μm的TiN膜的条件屈服点σ0.1和σ0.2分别等于4.2GPa和4.4GPa,加工硬化指数n为0.36;对于一种厚度为2.4μm的铜膜,得到σ0.1=328MPa,σ0.2=415MPa,n=0.62。利用无应变剥层技术逐层剥离薄膜,同时测量基片曲率半径的变化,由此测得了一种厚度为2.3μm的TiN膜的残余应力沿层深分布。用新建立的一种利用X射线应力分析法测量薄膜泊松比的技术,测出一种TiN膜的泊松比等于0 27。给出了测量陶瓷膜的杨氏模量的设想。
description.department中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室,中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室,中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室,中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室,LM3 ESA CNRS 8006, ENSAM 沈阳110016 沈阳110016 沈阳110016 沈阳110016 151 Bld. de l′Hpital, Paris 75013, France
Keyword薄膜 屈服强度 加工硬化指数 残余应力 泊松比 杨氏模量
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.imr.ac.cn/handle/321006/25990
Collection中国科学院金属研究所
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GB/T 7714
李家宝,覃明,马素媛,陈昌荣,Vincent JI. 薄膜几种重要力学性能的评价[J]. 理化检验(物理分册),2003(9):441-446.
APA 李家宝,覃明,马素媛,陈昌荣,Vincent JI.(2003).薄膜几种重要力学性能的评价.理化检验(物理分册)(9),441-446.
MLA 李家宝,覃明,马素媛,陈昌荣,Vincent JI."薄膜几种重要力学性能的评价".理化检验(物理分册) .9(2003):441-446.
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