| 电弧离子镀氧化铬涂层的组织结构及硬度 |
| 纪爱玲,汪伟,宋贵宏,汪爱英,孙超,闻立时
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| 2003-09-11
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| 发表期刊 | 金属学报
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| 期号 | 9页码:979-983 |
| 摘要 | 采用电弧离子镀方法在不锈钢基体上沉积Cr2O3薄膜.研究了氧流量和脉冲偏压对薄膜相结构、沉积速率、表面形貌、薄膜硬度的影响.结果表明,氧流量和脉冲偏压对薄膜的相结构有较大的影响.在氧流量为130 cm3/s、脉冲偏压为-100V时,出现Cr2O3{001}面择优取向;氧流量增高,脉冲偏压增大时,薄膜的表面形貌得到改善;在脉冲偏压为-200 V、氧流量为130 cm3/s时,可获得符合Cr2O3化学计量比的薄膜,其硬度达到36 GPa. |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所 沈阳 110016,沈阳 110016,沈阳 110016,沈阳 110016,沈阳 110016,沈阳 110016
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| 关键词 | Cr2o3薄膜
电弧离子镀
组织结构
脉冲偏压
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/26002
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
纪爱玲,汪伟,宋贵宏,汪爱英,孙超,闻立时. 电弧离子镀氧化铬涂层的组织结构及硬度[J]. 金属学报,2003(9):979-983.
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| APA |
纪爱玲,汪伟,宋贵宏,汪爱英,孙超,闻立时.(2003).电弧离子镀氧化铬涂层的组织结构及硬度.金属学报(9),979-983.
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| MLA |
纪爱玲,汪伟,宋贵宏,汪爱英,孙超,闻立时."电弧离子镀氧化铬涂层的组织结构及硬度".金属学报 .9(2003):979-983.
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