| TiN附着膜的应力-应变关系 |
| 覃明,嵇宁,汪伟,陈昌荣,李家宝,马胜利
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| 2003-07-11
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| 发表期刊 | 金属学报
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| 期号 | 7页码:721-724 |
| 摘要 | 利用等离子体辅助化学气相沉积法(PACVD)在60Mn钢基片上沉积2.5μm厚的TiN膜,借助X射线应力分析技术和微拉伸设备,测量该附着膜纵向(加载方向)应力和横向应力及外载应变,进而求其等效应力-等效单轴应变关系,并由此算得它的条件屈服点σ_(0.1)和σ_(0.2)分别为4.2和4.4 GPa,加工硬化指数为0.36,用纳米压痕仪测得其硬度为25 GPa,弹性模量为420 GPa,TiN膜在拉伸过程中发生了塑性变形。 |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室,LM3 ESA CNRS 8006,Ecole Nationale Suprieure D'Arts et Mtiers,151 Bd.del'Hpital 75013,Paris,France,中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室,中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室,中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室,西安交通大学金属材料强度国家重点实验室 沈阳 110016,沈阳 110016,沈阳 110016,沈阳 110016,西安 710049
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| 关键词 | Tin膜
双轴应力
应力-应变关系
X射线拉伸实验
纳米压痕法
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/26060
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
覃明,嵇宁,汪伟,陈昌荣,李家宝,马胜利. TiN附着膜的应力-应变关系[J]. 金属学报,2003(7):721-724.
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| APA |
覃明,嵇宁,汪伟,陈昌荣,李家宝,马胜利.(2003).TiN附着膜的应力-应变关系.金属学报(7),721-724.
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| MLA |
覃明,嵇宁,汪伟,陈昌荣,李家宝,马胜利."TiN附着膜的应力-应变关系".金属学报 .7(2003):721-724.
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