| 用激光烧结法制备的SnO_2薄膜的气敏性质 |
| 孙克,赵岩,沈文锋,张彩碚
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| 2003-04-25
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| 发表期刊 | 材料研究学报
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| 期号 | 2页码:180-185 |
| 摘要 | 用溶胶-凝胶法制备SnO_2前驱液,然后用提拉法分别在单晶Si和Al_2O_3基片表面制备出SnO_2前驱膜,再用脉冲Nd:YAG激光烧结前驱膜使其转变为晶体SnO_2薄膜。用XRD分析了单晶Si表面的SnO_2薄膜,研究激光功率对SnO_2薄膜相组成的影响。TEM观察表明,激光烧结后的薄膜SnO_2颗粒均匀,直径约为10nm。用激光烧结法制备的SnO_2薄膜对浓度为1.80×10~(-4)丙酮的最高灵敏度为30～40,明显高于用传统烧结法制备的SnO_2薄膜的灵敏度。激光烧结能降低薄膜具有最高灵敏度的工作温度。 |
| 部门归属 | 东北大学,中国科学院金属研究所,东北大学,东北大学 沈阳市110016
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| 关键词 | 无机非金属材料
Sno_2薄膜
激光烧结
灵敏度
气敏特性
丙酮
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/26133
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
孙克,赵岩,沈文锋,张彩碚. 用激光烧结法制备的SnO_2薄膜的气敏性质[J]. 材料研究学报,2003(2):180-185.
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| APA |
孙克,赵岩,沈文锋,张彩碚.(2003).用激光烧结法制备的SnO_2薄膜的气敏性质.材料研究学报(2),180-185.
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| MLA |
孙克,赵岩,沈文锋,张彩碚."用激光烧结法制备的SnO_2薄膜的气敏性质".材料研究学报 .2(2003):180-185.
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