| 用激光烧结法制备的SnO_2薄膜的气敏性质 | |
| 孙克,赵岩,沈文锋,张彩碚 | |
| 2003-04-25 | |
| Source Publication | 材料研究学报
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| Issue | 2Pages:180-185 |
| Abstract | 用溶胶-凝胶法制备SnO_2前驱液,然后用提拉法分别在单晶Si和Al_2O_3基片表面制备出SnO_2前驱膜,再用脉冲Nd:YAG激光烧结前驱膜使其转变为晶体SnO_2薄膜。用XRD分析了单晶Si表面的SnO_2薄膜,研究激光功率对SnO_2薄膜相组成的影响。TEM观察表明,激光烧结后的薄膜SnO_2颗粒均匀,直径约为10nm。用激光烧结法制备的SnO_2薄膜对浓度为1.80×10~(-4)丙酮的最高灵敏度为30～40,明显高于用传统烧结法制备的SnO_2薄膜的灵敏度。激光烧结能降低薄膜具有最高灵敏度的工作温度。 |
| description.department | 东北大学,中国科学院金属研究所,东北大学,东北大学 沈阳市110016 |
| Keyword | 无机非金属材料 Sno_2薄膜 激光烧结 灵敏度 气敏特性 丙酮 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/26133 |
| Collection | 中国科学院金属研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 孙克,赵岩,沈文锋,张彩碚. 用激光烧结法制备的SnO_2薄膜的气敏性质[J]. 材料研究学报,2003(2):180-185. |
| APA | 孙克,赵岩,沈文锋,张彩碚.(2003).用激光烧结法制备的SnO_2薄膜的气敏性质.材料研究学报(2),180-185. |
| MLA | 孙克,赵岩,沈文锋,张彩碚."用激光烧结法制备的SnO_2薄膜的气敏性质".材料研究学报 .2(2003):180-185. |
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