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电弧离子镀(Ti,Al)N复合薄膜的结构和性能研究
李明升,王福会,王铁钢,宫骏,孙超,闻立时
2003-01-11
发表期刊金属学报
期号1页码:55-60
摘要利用电弧离子镀设备在1Cr11Ni2W2MoV不锈钢基体表面沉积了不同成分的(Ti1-xAlx)N薄膜;X射线衍射分析表明,x在0-0.5之间时,薄膜是B1型(NaCl)单相结构;x=0.64时,同时出现B1和B4型(ZnS)两种相结构,x≥0.79时,只出现B4型结构;随着Al含量的增加,晶格常数减小,B1结构的薄膜择优取向由(111)向(220)转变.力学性能测试表明,适当Al含量可以提高薄膜的硬度、膜基结合强度及抗磨损性能; B1结构(Ti,Al)N薄膜的氧化实验表明,随着Al含量的增加,薄膜抗氧化性能显著提高.
部门归属中国科学院金属研究所金属腐蚀与防护国家重点实验室,中国科学院金属研究所金属腐蚀与防护国家重点实验室,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所 沈阳110016,沈阳110016,沈阳110016,沈阳110016,沈阳110016,沈阳110016
关键词电弧离子镀 (Ti Al)N薄膜 结构变化 力学性能
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/26254
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
李明升,王福会,王铁钢,宫骏,孙超,闻立时. 电弧离子镀(Ti,Al)N复合薄膜的结构和性能研究[J]. 金属学报,2003(1):55-60.
APA 李明升,王福会,王铁钢,宫骏,孙超,闻立时.(2003).电弧离子镀(Ti,Al)N复合薄膜的结构和性能研究.金属学报(1),55-60.
MLA 李明升,王福会,王铁钢,宫骏,孙超,闻立时."电弧离子镀(Ti,Al)N复合薄膜的结构和性能研究".金属学报 .1(2003):55-60.
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