| 采用TMAH腐蚀液形成正方形硅杯的粗糙度与腐蚀速率的研究与分析 |
| 沈桂芬,姚朋军,丁德宏,付世,吕品,杨春常,刘宏俊,王振波
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| 2002-09-15
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| 发表期刊 | 传感技术学报
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| 期号 | 3页码:251-255 |
| 摘要 | TMAH是一种新型的、性能优异的各向异性腐蚀液。本文通过大量对比实验对TMAH腐蚀液用于 <10 0 >、<111>单晶Si片不同电阻率、不同晶向的样品研究了粗糙度和腐蚀速率 ,得出重要结论。此研究对正确使用TMAH腐蚀液有重要指导意义。 |
| 部门归属 | 辽宁大学物理系,辽宁大学物理系,辽宁大学物理系,辽宁大学物理系,辽宁大学物理系,辽宁大学物理系,辽宁大学物理系,中国科学院金属研究所 辽宁沈阳110036
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| 关键词 | Tmah
粗糙度
腐蚀速率
各向异性。
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/26413
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
沈桂芬,姚朋军,丁德宏,付世,吕品,杨春常,刘宏俊,王振波. 采用TMAH腐蚀液形成正方形硅杯的粗糙度与腐蚀速率的研究与分析[J]. 传感技术学报,2002(3):251-255.
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| APA |
沈桂芬,姚朋军,丁德宏,付世,吕品,杨春常,刘宏俊,王振波.(2002).采用TMAH腐蚀液形成正方形硅杯的粗糙度与腐蚀速率的研究与分析.传感技术学报(3),251-255.
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| MLA |
沈桂芬,姚朋军,丁德宏,付世,吕品,杨春常,刘宏俊,王振波."采用TMAH腐蚀液形成正方形硅杯的粗糙度与腐蚀速率的研究与分析".传感技术学报 .3(2002):251-255.
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