| Nd:YAG脉冲激光诱导化学沉积银 | |
| 孙克,赵岩,张彩碚,李正林 | |
| 2002-04-30 | |
| Source Publication | 东北大学学报
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| Issue | 4Pages:391-393 |
| Abstract | Nd :YAG脉冲激光扫描照射单晶Si基底表面AgNO3 薄膜 ,薄膜热分解产生的Ag沉积在Si基底表面形成沉积线? 在激光功率为 2 8W ,频率为 35Hz时 ,最高扫描速度为 9mm/s?SEM显示Ag颗粒均匀镶嵌在基底沉积线表面 ,AES研究沉积线表面元素随深度分布情况?以Ag颗粒为催化中心 ,在沉积线表面选区化学镀铜 ,超声振动显示镀铜膜与基底有良好的结合力? 简单分析了沉积线表面Ag颗粒形状及表面凹坑出现的原因 |
| description.department | 东北大学理学院,中国科学院金属研究所,东北大学理学院,中国科学院金属研究所 辽宁沈阳110004,辽宁沈阳110016,辽宁沈阳110004,辽宁沈阳110016 |
| Keyword | Nd:Yag脉冲激光 激光诱导化学沉积 选区化学镀 Si基底 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/26550 |
| Collection | 中国科学院金属研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 孙克,赵岩,张彩碚,李正林. Nd:YAG脉冲激光诱导化学沉积银[J]. 东北大学学报,2002(4):391-393. |
| APA | 孙克,赵岩,张彩碚,李正林.(2002).Nd:YAG脉冲激光诱导化学沉积银.东北大学学报(4),391-393. |
| MLA | 孙克,赵岩,张彩碚,李正林."Nd:YAG脉冲激光诱导化学沉积银".东北大学学报 .4(2002):391-393. |
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