| 透明导电膜ZnO:Al(ZAO)的组织结构与特性 |
| 孙超,陈猛,裴志亮,曹鸿涛,黄荣芳,闻立时
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| 2002-04-25
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| 发表期刊 | 材料研究学报
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| 期号 | 2页码:113-120 |
| 摘要 | ＺｎＯ：Ａｌ（ＺＡＯ）是一种简并半导体氧化物薄膜材料，具有高的载流子浓度和大的光学禁带宽 度，因而具有优异的电学和光学性能，极具应用价值．对于其能级高度简并的ＺＡＯ半导体薄膜材料，在 较低的温度下，离化杂质散射占主导地位；在较高的温度下，晶格振动散射将成为主要的散射机制；晶界散 射仅当晶粒尺寸较小（与电子的平均自由程相当）时才起作用， 本文介绍了ＺＡＯ薄膜的制备方法、晶体 结构特性、电学和光学性能以及载流子的散射机制 |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所 沈阳市11001,沈阳市11001,沈阳市11001,沈阳市11001,沈阳市11001,沈阳市11001
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| 关键词 | 透明导电氧化物
简并半导体
Zao薄膜
散射机制
电学光学性质
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/26566
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
孙超,陈猛,裴志亮,曹鸿涛,黄荣芳,闻立时. 透明导电膜ZnO:Al(ZAO)的组织结构与特性 [J]. 材料研究学报,2002(2):113-120.
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| APA |
孙超,陈猛,裴志亮,曹鸿涛,黄荣芳,闻立时.(2002).透明导电膜ZnO:Al(ZAO)的组织结构与特性 .材料研究学报(2),113-120.
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| MLA |
孙超,陈猛,裴志亮,曹鸿涛,黄荣芳,闻立时."透明导电膜ZnO:Al(ZAO)的组织结构与特性 ".材料研究学报 .2(2002):113-120.
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