| 金刚石膜的制备和高取向生长 | |
| 孙超,汪爱英,黄荣芳,闻立时 | |
| 2002-02-28 | |
| 发表期刊 | 炭素技术
 |
| 期号 | 1页码:34-41 |
| 摘要 | 金刚石膜是最近世界上研究最广泛的材料之一。在本文中 ,简要介绍了低压化学气相沉积金刚石薄膜的合成技术及高取向生长 ,并对存在的一些问题进行了分析和讨论 |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所 辽宁沈阳110016 |
| 关键词 | 化学气相沉积 金刚石膜 合成技术 高取向 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/26619 |
| 专题 | 中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙超,汪爱英,黄荣芳,闻立时. 金刚石膜的制备和高取向生长[J]. 炭素技术,2002(1):34-41. |
| APA | 孙超,汪爱英,黄荣芳,闻立时.(2002).金刚石膜的制备和高取向生长.炭素技术(1),34-41. |
| MLA | 孙超,汪爱英,黄荣芳,闻立时."金刚石膜的制备和高取向生长".炭素技术 .1(2002):34-41. |
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