| 热丝化学气相沉积大面积金刚石膜温度场的模拟计算 |
| 汪爱英,孙超,王冰,宫骏,黄荣芳,闻立时
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| 2001-11-28
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| 发表期刊 | 金属学报
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| 期号 | 11页码:1217-1222 |
| 摘要 | 对热丝化学气相沉积（ＨＦＣＶＤ）生长金刚石膜过程中影响衬底温度场的热丝几何参数及其他相关沉积参数进行了模拟计算．结果表明，通过优化参数，用８０ｍｍ ×８０ｍｍ的热丝阵列可以获得７６ｍｍ × ７６ ｍｍ面积的均匀衬底温度区，进一步利用辅助热丝则可将均温区面积扩大到 １００ｍｍ×１００ｍｍ．这些结果可以为沉积高质量、大面积金刚石膜的工艺参数提供理论依据． |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所 沈阳110016,沈阳110016,沈阳110016,沈阳110016,沈阳110016,沈阳110016
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| 关键词 | 热丝化学沉积
金刚石膜
温度场
模拟计算
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/26762
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
汪爱英,孙超,王冰,宫骏,黄荣芳,闻立时. 热丝化学气相沉积大面积金刚石膜温度场的模拟计算[J]. 金属学报,2001(11):1217-1222.
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| APA |
汪爱英,孙超,王冰,宫骏,黄荣芳,闻立时.(2001).热丝化学气相沉积大面积金刚石膜温度场的模拟计算.金属学报(11),1217-1222.
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| MLA |
汪爱英,孙超,王冰,宫骏,黄荣芳,闻立时."热丝化学气相沉积大面积金刚石膜温度场的模拟计算".金属学报 .11(2001):1217-1222.
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