| ZAO薄膜的研究现状及发展趋势 |
| 陆峰,徐成海,闻立时
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| 2001-09-30
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| 发表期刊 | 真空与低温
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| 期号 | 3页码:3-7 |
| 摘要 | 针对目前ITO膜In、Sn等材料自然储量少、制备工艺复杂、有毒、稳定性差的缺点 ,提出了代替ITO膜的ZAO薄膜。从该膜的基本性能入手介绍了它的优点 ,国内外研究及发展现状 |
| 部门归属 | 东北大学机械工程与自动化学院!辽宁沈阳110004,东北大学机械工程与自动化学院!辽宁沈阳110004,中国科学院金属研究所!辽宁沈阳110016
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| 关键词 | Zao薄膜
溅射
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/26830
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
陆峰,徐成海,闻立时. ZAO薄膜的研究现状及发展趋势[J]. 真空与低温,2001(3):3-7.
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| APA |
陆峰,徐成海,闻立时.(2001).ZAO薄膜的研究现状及发展趋势.真空与低温(3),3-7.
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| MLA |
陆峰,徐成海,闻立时."ZAO薄膜的研究现状及发展趋势".真空与低温 .3(2001):3-7.
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