| 热丝法化学气相沉积金刚石膜 |
| 曹小明,张军旗,黄荣芳,闻立时
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| 2000-12-30
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| 发表期刊 | 材料研究学报
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| 期号 | S1页码:81-83 |
| 摘要 | 用热丝法沉积金刚石膜，分离送入氢气和甲烷，可以减少钨丝碳化，提高功率利用率分送与混进相结合，可以制备晶体形态良好的金刚石膜到达基材表面的活性粒子的数量是提高金刚石膜生长速率的关键生长速率可达 ３．８μｍ／ｈ，均匀区面积达 ４００ｍｍ２ |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所!沈阳市110015,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所
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| 关键词 | 热丝法
金刚石膜
分送
混送
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/27090
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
曹小明,张军旗,黄荣芳,闻立时. 热丝法化学气相沉积金刚石膜[J]. 材料研究学报,2000(S1):81-83.
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| APA |
曹小明,张军旗,黄荣芳,闻立时.(2000).热丝法化学气相沉积金刚石膜.材料研究学报(S1),81-83.
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| MLA |
曹小明,张军旗,黄荣芳,闻立时."热丝法化学气相沉积金刚石膜".材料研究学报 .S1(2000):81-83.
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