| 大面积生长金刚石相关物理参量的空间分布 |
| 宋贵宏,孙超,王冰,黄荣芳,闻立时
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| 2000-12-25
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| 发表期刊 | 材料研究学报
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| 期号 | 6页码:609-614 |
| 摘要 | 研究了在热丝化学气相生长金刚石的过程中、衬底温度、衬底表面附近的气体温度以及气流的 质量流密度分布对金刚石膜的形核和生长的影响，模拟计算结果表明，这三个参量是空间位置的函数，在 某些区域，这三个参量均匀分布。当热丝阵列面与衬底间距离超过７ｍｍ之后，这三个参量在衬底上有一 个较大的均匀区域，在该区域的两侧，各参量值显著变化，在衬底中心的均匀区域，金刚石膜晶形清楚而致 密；偏离该区域，这三个参量数值明显下降，形核密度和生长速度较低，三个参量值均匀的区域可作为金刚 石大面积均匀的形核和生长的位置。 |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所!沈阳工业大学,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所
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| 关键词 | 热丝化学气相沉积
金刚石膜
大面积生长
物理参数分布
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/27105
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
宋贵宏,孙超,王冰,黄荣芳,闻立时. 大面积生长金刚石相关物理参量的空间分布[J]. 材料研究学报,2000(6):609-614.
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| APA |
宋贵宏,孙超,王冰,黄荣芳,闻立时.(2000).大面积生长金刚石相关物理参量的空间分布.材料研究学报(6),609-614.
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| MLA |
宋贵宏,孙超,王冰,黄荣芳,闻立时."大面积生长金刚石相关物理参量的空间分布".材料研究学报 .6(2000):609-614.
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