| HFCVD金刚石膜的形貌对红外透射率的影响 |
| 宋贵宏,宫骏,孙超,黄荣芳,闻立时
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| 2000-11-30
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| 发表期刊 | 人工晶体学报
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| 期号 | 4页码:390-393 |
| 摘要 | 本文测量HFCVD生长的金刚石膜的红外透射率。结果表明 ,膜中的缺陷、杂质和非金刚石相在透射谱中产生吸收带 ;膜表面的粗糙度和组织形貌对透射率有较大的影响。形核表面面对红外光源时 ,由于减少表面散射而透射率较高 ;定向或高取向膜的透射率高于混杂取向膜的透射率 ,表明晶格取向和晶界分布影响膜的透射性能。 |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所!沈阳110015沈阳工业大学材料工程系,沈阳110026,中国科学院金属研究所!沈阳110015,中国科学院金属研究所!沈阳110015,中国科学院金属研究所!沈阳110015,中国科学院金属研究所!沈阳110015
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| 关键词 | 金刚石膜
热丝化学气相沉积
红外透射率
晶体形貌
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/27126
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
宋贵宏,宫骏,孙超,黄荣芳,闻立时. HFCVD金刚石膜的形貌对红外透射率的影响[J]. 人工晶体学报,2000(4):390-393.
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| APA |
宋贵宏,宫骏,孙超,黄荣芳,闻立时.(2000).HFCVD金刚石膜的形貌对红外透射率的影响.人工晶体学报(4),390-393.
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| MLA |
宋贵宏,宫骏,孙超,黄荣芳,闻立时."HFCVD金刚石膜的形貌对红外透射率的影响".人工晶体学报 .4(2000):390-393.
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