| 透明导电氧化物ZnO:Al(ZAO)薄膜的研究 |
| 裴志亮,谭明晖,陈猛,孙超,黄荣芳,闻立时
|
| 2000-01-18
|
| 发表期刊 | 金属学报
 |
| 期号 | 1页码:72-76 |
| 摘要 | 用磁控反应溅射法制备了ＺｎＯ：Ａｌ（简称ＺＡＯ）薄膜，研究了薄膜方块电阻空间分布的均匀性及微观形貌、并对ＺｎＯ：Ａｌ薄膜表面各元素的化学状态和深度分布进行了 ＸＰＳ和 ＡＥＳ分析，同时也讨论了薄膜的光学电学性能 |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所!沈阳110015,中国科学院金属研究所!沈阳110015,中国科学院金属研究所!沈阳110015,中国科学院金属研究所!沈阳110015,中国科学院金属研究所!沈阳110015,中国科学院金属研究所!沈阳110015
|
| 关键词 | Zno:Al薄膜
电阻空间分布
光电性能
|
| 文献类型 | 期刊论文
|
| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/27339
|
| 专题 | 中国科学院金属研究所
|
推荐引用方式
GB/T 7714 |
裴志亮,谭明晖,陈猛,孙超,黄荣芳,闻立时. 透明导电氧化物ZnO:Al(ZAO)薄膜的研究[J]. 金属学报,2000(1):72-76.
|
| APA |
裴志亮,谭明晖,陈猛,孙超,黄荣芳,闻立时.(2000).透明导电氧化物ZnO:Al(ZAO)薄膜的研究.金属学报(1),72-76.
|
| MLA |
裴志亮,谭明晖,陈猛,孙超,黄荣芳,闻立时."透明导电氧化物ZnO:Al(ZAO)薄膜的研究".金属学报 .1(2000):72-76.
|
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [裴志亮,谭明晖,陈猛,孙超,黄荣芳,闻立时]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [裴志亮,谭明晖,陈猛,孙超,黄荣芳,闻立时]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [裴志亮,谭明晖,陈猛,孙超,黄荣芳,闻立时]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
|
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论