| 超薄Al膜可见光光学特性与其特征尺寸的关系 |
| 白雪冬,黄荣芳,闻立时
|
| 1999-04-15
|
| 发表期刊 | 真空科学与技术
 |
| 期号 | 2页码:32-34 |
| 摘要 | 利用WFZ90 0 D4型紫外 /可见光分光光度计 ,测量了磁控测射超薄Al膜的可见光反射比和透射比。采用牛顿 辛普森方法确定超薄Al膜光学函数 ,进而计算其介电函数 ,得到了它们随膜厚变化的关系。结果表明 ,不同特征尺寸的薄膜 ,具有不同的电磁特性参数 |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所!沈阳110015,中国科学院金属研究所!沈阳110015,中国科学院金属研究所!沈阳110015
|
| 关键词 | 光学函数
介电函数
超薄铝膜
|
| 文献类型 | 期刊论文
|
| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/27507
|
| 专题 | 中国科学院金属研究所
|
推荐引用方式
GB/T 7714 |
白雪冬,黄荣芳,闻立时. 超薄Al膜可见光光学特性与其特征尺寸的关系[J]. 真空科学与技术,1999(2):32-34.
|
| APA |
白雪冬,黄荣芳,闻立时.(1999).超薄Al膜可见光光学特性与其特征尺寸的关系.真空科学与技术(2),32-34.
|
| MLA |
白雪冬,黄荣芳,闻立时."超薄Al膜可见光光学特性与其特征尺寸的关系".真空科学与技术 .2(1999):32-34.
|
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论