| 金钢石薄膜与基材之间过渡层技术的研究 | |
| 苏革,闻立时,成会明 | |
| 1998-12-30 | |
| Source Publication | 材料科学与工艺
 |
| Issue | 4Pages:22-24 |
| Abstract | 通过TEM观察发现在金刚石膜与单晶硅片、金刚石膜与A1N陶瓷之间存在一层过渡层，过渡层的存在为金刚石的形核及生长提供了有利的条件，受此启发，为了改善金刚石与基材的结合强度，采用磁控溅射、空心离子镀、真空蒸镀等方法在MO片上沉积TiC、TiCN（C／N=1／2）、TiCN（C／N=1／10）等薄膜，研究了它们对金刚石膜与基材的结合强度的影响． |
| description.department | 中国科学院金属研究所!沈阳文化路72号，沈阳,110015,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所 |
| Keyword | 金刚石薄膜 过渡层 结合强度 （附着强度） |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/27568 |
| Collection | 中国科学院金属研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 苏革,闻立时,成会明. 金钢石薄膜与基材之间过渡层技术的研究[J]. 材料科学与工艺,1998(4):22-24. |
| APA | 苏革,闻立时,成会明.(1998).金钢石薄膜与基材之间过渡层技术的研究.材料科学与工艺(4),22-24. |
| MLA | 苏革,闻立时,成会明."金钢石薄膜与基材之间过渡层技术的研究".材料科学与工艺 .4(1998):22-24. |
| Files in This Item: | There are no files associated with this item. | |||||
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment