IMR OpenIR
InSb/GaAs半导体界面结构研究
王绍青,孟祥敏,兰建章,叶恒强
1998-12-25
发表期刊电子显微学报
期号6页码:41-47
摘要本文通过对InSb/GaAs半导体界面实验高分辨原子像的计算机定量化分析得到了界面位错区附近的晶格点阵畸变位移分布。基于该实验结果文中提出了InSb/GaAs半导体界面的结构互平衡界面结构模型。该界面模型合理地解释了界面位错的起因及InSb薄膜在GaAs基体上外延生长过程中的物理现象。计算机模拟的界面电子衍射谱和高分辨原子像与实验观察结果的一致性符合验证了所建立的界面模型的正确性
部门归属中国科学院金属研究所固体原子像开放研究实验室
关键词高分辨原子像 半导体界面 原子结构 晶格畸变 透射电子显微术
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/27573
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
王绍青,孟祥敏,兰建章,叶恒强. InSb/GaAs半导体界面结构研究[J]. 电子显微学报,1998(6):41-47.
APA 王绍青,孟祥敏,兰建章,叶恒强.(1998).InSb/GaAs半导体界面结构研究.电子显微学报(6),41-47.
MLA 王绍青,孟祥敏,兰建章,叶恒强."InSb/GaAs半导体界面结构研究".电子显微学报 .6(1998):41-47.
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