| 分离送入甲烷和氢气的热丝法沉积金刚石膜 |
| 陈广超,黄荣芳,闻立时
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| 1997-06-25
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| 发表期刊 | 材料研究学报
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| 期号 | 3页码:331-333 |
| 摘要 | 采用热丝法沉积金刚石膜.分离送入氢气和甲烷．使作为发热体的钨丝电阻值比经典的热丝法降低20％．用此法制得的金刚石晶形较好．实验表明：反应气体的流量对膜的致密生长区影响很大． |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所
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| 关键词 | 热丝法
分离
电阻
晶形
生长区
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/27847
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
陈广超,黄荣芳,闻立时. 分离送入甲烷和氢气的热丝法沉积金刚石膜[J]. 材料研究学报,1997(3):331-333.
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| APA |
陈广超,黄荣芳,闻立时.(1997).分离送入甲烷和氢气的热丝法沉积金刚石膜.材料研究学报(3),331-333.
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| MLA |
陈广超,黄荣芳,闻立时."分离送入甲烷和氢气的热丝法沉积金刚石膜".材料研究学报 .3(1997):331-333.
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