| 定向金刚石薄膜的“分送”热丝法生长 |
| 陈广超,黄荣芳,闻立时
|
| 1997-02-28
|
| 发表期刊 | 人工晶体学报
 |
| 期号 | 1页码:65-68 |
| 摘要 | 本文采用分离送入反应气体的热丝法，制备｛１１０｝晶面占优的定向金刚石薄膜；研究了沉积几何对定向形貌的影响。实验表明，若要得到定向形貌，沉积几何需有严格的限制。同时，也表明，分离送入反应气体法得到相同定向形貌的时间要比混和送入反应气体法所需的时间要少 |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所
|
| 关键词 | 热丝化学气相沉积法
定向形貌
金刚石薄膜
|
| 文献类型 | 期刊论文
|
| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/27890
|
| 专题 | 中国科学院金属研究所
|
推荐引用方式
GB/T 7714 |
陈广超,黄荣芳,闻立时. 定向金刚石薄膜的“分送”热丝法生长[J]. 人工晶体学报,1997(1):65-68.
|
| APA |
陈广超,黄荣芳,闻立时.(1997).定向金刚石薄膜的“分送”热丝法生长.人工晶体学报(1),65-68.
|
| MLA |
陈广超,黄荣芳,闻立时."定向金刚石薄膜的“分送”热丝法生长".人工晶体学报 .1(1997):65-68.
|
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论