热丝法化学气相沉积大面积金刚石膜中辐射场和温度场的尺寸效应

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	热丝法化学气相沉积大面积金刚石膜中辐射场和温度场的尺寸效应
	刘德义,黄荣芳,于杰,闻立时,师昌绪
	1996-06-25
发表期刊	材料研究学报
期号	3 页码:279-284
摘要	对热丝法化学气相沉积金刚石膜中的辐射场和温度场进行了计算结果表明，在样品平面沿Ｘ，Ｙ方向均匀辐照度（温度）区的线性尺寸比高温度梯度区的尺寸快速增大沿Ｚ方向均匀辐照度（温度）区的深度随样品到加热丝距离的增加而增大辐照度（温度）的大小可通过改变加热丝间距得到控制．
部门归属	中国科学院金属研究所
关键词	辐照场金刚石膜生长 Hfcvd
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/28018
专题	中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	刘德义,黄荣芳,于杰,闻立时,师昌绪. 热丝法化学气相沉积大面积金刚石膜中辐射场和温度场的尺寸效应[J]. 材料研究学报,1996(3):279-284.
APA	刘德义,黄荣芳,于杰,闻立时,师昌绪.(1996).热丝法化学气相沉积大面积金刚石膜中辐射场和温度场的尺寸效应.材料研究学报(3),279-284.
MLA	刘德义,黄荣芳,于杰,闻立时,师昌绪."热丝法化学气相沉积大面积金刚石膜中辐射场和温度场的尺寸效应".材料研究学报 .3(1996):279-284.