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激光合成纳米晶Si粉及粉体性能表征
李亚利,梁勇,肖克沈,郑丰,胡壮麒
1995-07-08
发表期刊金属学报
期号13页码:21-25
摘要本文采用激光诱导高纯硅烷气相反应在不同的合成条件下制备出平均粒径为20—100nm。晶粒度为18—37nm的各种纳米Si粉。研究了实验参数对粉体形成的影响并采用多种测试手段(TEM.XPS,XRD,FTIR.BET)研究了粉体粒子形貌、键结构特征及表面状态。结果表明。粉体由团聚态形状不规各单分散球形的多晶粒子组成。较低的激光功率似加大稀释Ar气量有利于单分散细粒子的形成。粉体氧杂质含量为2.0—3.0wt-%。主要以O-Si-H键状态存在于粒子表面,是由粉体暴露空气后粒子表面产生化学吸附氧形成的。
部门归属中国科学院金属研究所快速凝固非平衡合金国家重点实验室
关键词激光合成 纳米晶 Si粉 Si_3n_4
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/28186
专题中国科学院金属研究所
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GB/T 7714
李亚利,梁勇,肖克沈,郑丰,胡壮麒. 激光合成纳米晶Si粉及粉体性能表征[J]. 金属学报,1995(13):21-25.
APA 李亚利,梁勇,肖克沈,郑丰,胡壮麒.(1995).激光合成纳米晶Si粉及粉体性能表征.金属学报(13),21-25.
MLA 李亚利,梁勇,肖克沈,郑丰,胡壮麒."激光合成纳米晶Si粉及粉体性能表征".金属学报 .13(1995):21-25.
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