| 陶瓷基材上金刚石薄膜的微观结构与界面研究 |
| 陈岩,戴吉岩,苏革,黄荣芳,闻立时,师昌绪
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| 1994-11-30
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| 发表期刊 | 人工晶体学报
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| 期号 | 4页码:274-278 |
| 摘要 | 用透射电子显微镜研究了用热丝法在Ｓｉ＿３Ｎ＿４－ＳｉＣ＿ｗ，ＡｌＮ陶瓷基材上生长的金刚石薄膜的显微结构和金刚石膜－基片界面。结果表明，金刚石膜内有大量的（１１１）孪晶，堆垛层错和位错。Ｓｉ＿３Ｎ＿４－ＳｉＣ＿ｗ基材上的金刚石膜的晶粒细小，有沿基材表面的条纹状的晶粒生长。界面研究表明ＡｌＮ基材上膜－基界面处有两种形核方式：无明显过渡层时，金刚石晶粒呈锥状生长，晶粒间留有孔洞；有界面过渡层时呈柱状生长。 |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所, 中国科学院表面物理国家重点实验室
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| 关键词 | 金刚石膜
成核
衬底
缺陷
界面
显微结构
化学气相沉积
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/28327
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
陈岩,戴吉岩,苏革,黄荣芳,闻立时,师昌绪. 陶瓷基材上金刚石薄膜的微观结构与界面研究[J]. 人工晶体学报,1994(4):274-278.
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| APA |
陈岩,戴吉岩,苏革,黄荣芳,闻立时,师昌绪.(1994).陶瓷基材上金刚石薄膜的微观结构与界面研究.人工晶体学报(4),274-278.
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| MLA |
陈岩,戴吉岩,苏革,黄荣芳,闻立时,师昌绪."陶瓷基材上金刚石薄膜的微观结构与界面研究".人工晶体学报 .4(1994):274-278.
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