| 激光诱导硅烷气相合成纳米硅粉研究 |
| 李亚利,梁勇,肖克沈,郑丰,胡壮麒
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| 1994-07-25
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| 发表期刊 | 中国激光
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| 期号 | 7页码:609-612 |
| 摘要 | 采用高功率ＣＯ２激光诱导高纯硅烷气相反应，制备出粉体平均粒径为１０～１２０ｕｍ，晶粒度与平均粒径比为０．３～０．７的各种纳米结晶硅粉。制备出的硅粉粒度均匀，粒子呈球形，但部分粒子间出现烧结。粉体粒径随激光功率、反应压力的增加而增加，随硅烷流量、稀释Ａｒ气的增加而减小。晶粒度对硅烷流量和反应压力的变化不敏感，但随激光功率的降低和混合Ａｒ气的增加而明显减小。Ｓｉ粒子的形成经历了单晶粒子的生长和这些粒子间的碰撞生长过程。 |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所快速凝固非平衡合金国家实验室
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| 关键词 | 纳米粉
激光合成
硅
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/28402
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
李亚利,梁勇,肖克沈,郑丰,胡壮麒. 激光诱导硅烷气相合成纳米硅粉研究[J]. 中国激光,1994(7):609-612.
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| APA |
李亚利,梁勇,肖克沈,郑丰,胡壮麒.(1994).激光诱导硅烷气相合成纳米硅粉研究.中国激光(7),609-612.
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| MLA |
李亚利,梁勇,肖克沈,郑丰,胡壮麒."激光诱导硅烷气相合成纳米硅粉研究".中国激光 .7(1994):609-612.
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