| 溅射Fe_(82)Si_6B_(12)非晶合金膜的晶化动力学研究 |
| 姜洪刚,佟华宇,丁炳哲,胡壮麒,宋启洪,董林,周强
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| 1993-11-27
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| 发表期刊 | 金属学报
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| 期号 | 11页码:85-90 |
| 摘要 | 用动态原位电镜观察方法研究了直流溅射Fe_(82)Si_(6)B_(12)非晶合金膜的晶化动力学过程结果表明:溅射Fe_(82)Si_6B_(12)非晶合金膜的晶化类型为初晶晶化,初晶产物为α(Fe,Si)长大以枝晶方式进行,长大方向沿<110>晶向.α(Fe,Si)初晶形核采取瞬态均匀形核,晶核初始的形状为圆形和多角形,并很快发展成枝晶.α(Fe,Si)枝晶的长大是由B原子在非晶合金中的长程扩散控制的,根据对长大过程的动力学分析,得到了B原子在溅射Fe_(82)Si_(6)B_(12)非晶合金膜中的自扩散系数,且扩散系数与退火温度之间符合Arrhenius关系. |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所快速凝固与非平衡合金国家重点实验室,中国科学院金属研究所快速凝固与非平衡合金国家重点实验室,中国科学院金属研究所快速凝固与非平衡合金国家重点实验室,中国科学院金属研究所快速凝固与非平衡合金国家重点实验室,中国科学院金属研究所快速凝固与非平衡合金国家重点实验室,辽宁省理化测试中心,辽宁省理化测试中心 博士研究生,沈阳110015,沈阳110015,沈阳110015,沈阳110015,沈阳110015
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| 关键词 | Fe_(82)Si_(6)B_(12)非晶合金
薄膜
晶化
扩散
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/28520
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
姜洪刚,佟华宇,丁炳哲,胡壮麒,宋启洪,董林,周强. 溅射Fe_(82)Si_6B_(12)非晶合金膜的晶化动力学研究[J]. 金属学报,1993(11):85-90.
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| APA |
姜洪刚,佟华宇,丁炳哲,胡壮麒,宋启洪,董林,周强.(1993).溅射Fe_(82)Si_6B_(12)非晶合金膜的晶化动力学研究.金属学报(11),85-90.
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| MLA |
姜洪刚,佟华宇,丁炳哲,胡壮麒,宋启洪,董林,周强."溅射Fe_(82)Si_6B_(12)非晶合金膜的晶化动力学研究".金属学报 .11(1993):85-90.
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