大功率CO_2激光沉积超硬Si_3N_4膜的性能和组织

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	大功率CO_2激光沉积超硬Si_3N_4膜的性能和组织
	冯钟潮; 郭良; 梁勇; 韩健; 侯万良; 宁小光
	1992-08-28
发表期刊	金属学报
期号	8 页码:67-71
摘要	用大功率(kW级)CO_2激光在金属基材上通过化学气相沉积获得α-Si_3N_4膜。膜层多为细小的Si_3N_4颗粒组成,与基材有良好的结合,具有超硬和优良的耐磨抗蚀等性能,厚度在5—30μm范围内可控。
部门归属	中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所副研究员,沈阳(110015)
关键词	激光化学气相沉积 Si_3n_4膜组织结构硬度耐磨抗蚀
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/28790
专题	中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	冯钟潮,郭良,梁勇,等. 大功率CO_2激光沉积超硬Si_3N_4膜的性能和组织[J]. 金属学报,1992(8):67-71.
APA	冯钟潮,郭良,梁勇,韩健,侯万良,&宁小光.(1992).大功率CO_2激光沉积超硬Si_3N_4膜的性能和组织.金属学报(8),67-71.
MLA	冯钟潮,et al."大功率CO_2激光沉积超硬Si_3N_4膜的性能和组织".金属学报 .8(1992):67-71.