| Ti-N多层膜的显微结构和压痕行为 | |
| A.WAGENDRISTEL; 黄荣芳; H.BANGERT; 杨霞; 吴立航; 王海峰; H.PANGRATZ; P.SKALICKY | |
| 1992-07-29 | |
| 发表期刊 | 金属学报
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| 期号 | 7页码:78-84 |
| 摘要 | 研究了Ti/TiN多层膜的显微结构,横截面试样的透射电镜研究和二次离子质谱深度分析均表明,该膜具有周期变化的多层结构,即:基体/FeTi/Ti/Ti_2N/TiN/Ti_2N/Ti/Ti_2N/TiN…Ti/Ti_2N/TiN.制备了压痕试样的断口试样,并用扫描电镜进行了观察.结果表明,多层硬膜在压痕试验时发生形变,出现压痕坑,在其周围形成材料堆积.随着所加载荷的增加,形变区扩大,越过膜/基界面进入基体,引起膜内的层间开裂和在膜/基界面上形成孔洞,研究结果表明,和单层TiN相比,Ti/TiN多层膜具有较好的韧性. |
| 部门归属 | 维也纳工业大学应用和技术物理研究所,中国科学院金属研究所,维也纳工业大学应用和技术物理研究所,维也纳工业大学应用和技术物理研究所,维也纳工业大学应用和技术物理研究所,维也纳工业大学应用和技术物理研究所,维也纳工业大学应用和技术物理研究所,维也纳工业大学应用和技术物理研究所 副研究员 沈阳 110015 |
| 关键词 | Ti-n多层膜 显微结构 压痕 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/28798 |
| 专题 | 中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | A.WAGENDRISTEL,黄荣芳,H.BANGERT,等. Ti-N多层膜的显微结构和压痕行为[J]. 金属学报,1992(7):78-84. |
| APA | A.WAGENDRISTEL.,黄荣芳.,H.BANGERT.,杨霞.,吴立航.,...&P.SKALICKY.(1992).Ti-N多层膜的显微结构和压痕行为.金属学报(7),78-84. |
| MLA | A.WAGENDRISTEL,et al."Ti-N多层膜的显微结构和压痕行为".金属学报 .7(1992):78-84. |
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