| 辉光放电灯中二元合金溅射率与化学组成的关系 |
| 任建世,张功杼,王桢枢,刘根,刘圣麟
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| 1992-05-30
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| 发表期刊 | 金属学报
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| 期号 | 5页码:85-89 |
| 摘要 | 在恒定气压和电压条件下,用测量溅射减量的方法,系统研究了Cr—Fe,Bi-Sb,Cu—Zn,Ag—Cu,Al-Zn和Cd—Sn六个系统的25个试样在辉光放电灯中溅射率与组分的关系结果表明;阴极溅射在稳态时,二元合金(不形成金属间化合物)的溅射率与组元浓度的普遍关系是双曲线,只有在某些特殊情况下,两组元的溅射率相差不大时,可以近似看成线性关系。 |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,上海工业大学,上海工业大学,上海工业大学 高级工程师,沈阳(110015)中国科学院金属研究所
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| 关键词 | 二元合金
辉光放电
阴极溅射
溅射率
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/28837
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
任建世,张功杼,王桢枢,刘根,刘圣麟. 辉光放电灯中二元合金溅射率与化学组成的关系[J]. 金属学报,1992(5):85-89.
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| APA |
任建世,张功杼,王桢枢,刘根,刘圣麟.(1992).辉光放电灯中二元合金溅射率与化学组成的关系.金属学报(5),85-89.
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| MLA |
任建世,张功杼,王桢枢,刘根,刘圣麟."辉光放电灯中二元合金溅射率与化学组成的关系".金属学报 .5(1992):85-89.
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